субсидии
исполнитель
НИОКТР
Цель
Целями проекта являются разработка базовой технологии и организация высокотехнологичного производства сверхмощных приборов силовой электроники на основе нейтронно-легированного кремния и электропроводящих композитных термокомпенсаторов диаметром до 5 дюймов, обеспечивающих конкурентоспособность и импортозамещение в наукоемких областях промышленности, транспорта и энергетики.
Уникальность
Уникальность разработки состоит в использовании для изготовления электропроводящих термокомпенсаторов металломатричного композитного материала AlSiC, что по результатам испытаний обеспечило превышение требований Технического задания по ресурсо- и энергоемкости продукции в 3-4 раза (по ряду параметров).
В результате проведенной патентной экспертизы и анализа научно-технической литературы в открытых источниках информации о разработке, изготовлении и свойствах электропроводящих термокомпенсаторов из металломатричного композитного материала AlSiC не обнаружено. Это свидетельствует о приоритете разработанной технологии для применения AlSiC в качестве электропроводящих термокомпенсаторов СПП.
В ходе выполнения комплексного проекта выполнены:
- разработка электропроводящих термокомпенсаторов (ТК) из композитного материала и технологического процесса их производства;
- разработка технологического процесса (ТП ПЭ) производства полупроводниковых элементов (ПЭ) с использованием термокомпрессионного контакта между ТК и кремниевым кристаллом (КК) диаметром до 120 мм;
- разработка сверхмощных силовых полупроводниковых приборов (СПП) и доработка технологического процесса их производства (далее ТП СПП):
- на основе КК и ТК диаметром до 120 мм с полностью прижимными контактами,
- на основе ПЭ диаметром до 120 мм;
- модернизация промышленного производства изделий из композитных материалов, реализующего ТП ТК;
- модернизация производства по выпуску сверхмощных СПП.