Цель

Разработка базового технологического процесса и организация высокотехнологического производства изготовления высокоэффективных теплоотводящих элементов конструкции из поликристаллического алмаза для активных компонентов изделий электронной техники, позволяющих существенно улучшить и стабилизировать выходные параметры полупроводниковых приборов.

Уникальность

Базовый технологический процесс производства высокоэффективных теплоотводящих элементов конструкции (далее – ТП ТЭК) из поликристаллического алмаза включает как впервые разработанные технологические операции, так и дорабатываемые в части режимов и используемых материалов: выращивание пластин поликристаллического алмаза на плоских и профилированных кремниевых пластинах; лазерная резка алмазных пластин на заготовки (доработано в части режимов резки для поликристаллического алмаза); разделение алмазных профилированных пластин (разработано впервые); формирования рельефа алмазных пластин заданной плоскостности и толщины (разработано впервые); формирование геометрических размеров (разработано впервые); формирование переходного высокоадгезионного слоя, включающее вакуумное напыление и ионное перемешивание металла с алмазом (разработано впервые); вакуумное напыление металлов (доработано в части выбора напыляемых металлов и их толщины); электрохимическое осаждение металлических (Au, Ni) покрытий на внешних сторонах ТЭК (доработано).

Заказчиками продукции выступают предприятия радиоэлектронной промышленности, авиационной промышленности, космической отрасли. Также рассматривается возможность продажи теплоотводов на основе поликристаллического алмаза производителям инфракрасных лазеров для изготовления оптических окон в мощных инфракрасных лазерах, производителям детекторов ионизирующего излучения и устройств на поверхностных акустических волнах, оптоэлектронных и светоизлучающих приборов.