№ соглашения 075-11-2019-068
Проект
Разработка технологии и технологическая подготовка к производству кристаллов транзисторов на основе гетероструктур нитрида галлия на подложке кремния диаметром 150 мм для силовых преобразовательных модулей.
Получатель
субсидии
АО «Зеленоградский нанотехнологический центр»
г. Москва
Головной
исполнитель
НИОКТР
Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
г. Москва
Начало проекта
2019
Стадия проекта
Коммерциализация
Отрасль
Электронная промышленность и микроэлектроника
О проекте

Цель

Разработка технологии и технологическая подготовка к производству кристаллов транзисторов на основе гетероструктур нитрида галлия на подложке кремния диаметром 150 мм для силовых преобразовательных модулей.

Уникальность

Ключевые преимуществами транзисторов на GaN являются:

  • Сохранение работоспособности при высокой температуре.
  • Возможность работы при высоком напряжении.
  • Возможность работы с очень высокой частотой.
  • Работа в условиях радиации.

Результаты на 30.06.2024
  • Создана производственная линия изготовления элементной базы по технологии GaN-Si на пластинах диаметром 150 мм.
  • Номенклатура запущенных в производство силовых транзисторов характеризуется диапазоном пробивных напряжений до 650 В и током до 40 А. Возможности транзисторов и усилителей СВЧ-диапазона позволяют реализовать диапазон усиления в полосе до 6 ГГц с мощностью до 10 Вт.
  • Проводится комплекс работ, направленных на разработку PDK и библиотек стандартных элементов для возможности использования производства в режиме Foundry для широкого круга разработчиков.
  • Проект перешел в стадию коммерциализации.
  • Ведутся работы по расширению рынка сбыта и привлечения отраслевых заказчиков.