Цель

Создание высокотехнологичного производства оборудования для нанесения функциональных нанопокрытий по технологии молекулярного наслаивания.

Уникальность

В настоящее время оборудование для нанесения функциональных нанопокрытий по технологии молекулярного наслаивания серийно и в соответствующих условиях производства изготавливается только за рубежом. По результатам проекта будет создано высокотехнологичное серийное производство, включающее в себя лабораторию с чистыми помещениями, в которой будет тестироваться готовое оборудование, а также проводиться исследования в области функциональных нанопокрытий.

В результате выполнения проекта созданы:

• установка молекулярного наслаивания - автоматизированная промышленная установка проточно-вакуумного типа, реализующая технологический процесс нанесения наноразмерных покрытий различного химического состава;
• технологический процесс нанесения алюмооксидных покрытий на пластины монокристаллического кремния;
• технологический процесс нанесения титаноксидных покрытий на полимерную пленку полиэтилена высокого давления;
• технологический процесс нанесения титаноксидных покрытий на стеклянные корпуса рентгеновских трубок, включающий в себя технологический процесс нанесения титаноксидных покрытий на пластины стекла;
• цех по производству Установок.