субсидии
исполнитель
НИОКТР
Цель
Разработка технологии и создание производства сферических высокочистых кварцевых гранул, необходимых для изготовления высококачественных эпоксидных компаундов для микроэлектроники.
Уникальность
В технологическом процессе измельчение кварца осуществляется методом электроимпульсного дробления в деионизованной воде в несколько стадий с промежуточной оптической сепарацией и постоянным отводом высвобождающихся при дроблении минеральных включений и примазок. Для производства кварцевых гранул используются электроимпульсные дробилки собственной разработки, которые характеризуются развиваемым напряжением до 500 кВ и длительностью импульса разрядного тока 50 наносекунд. Данный метод дробления позволяет производить дробление кварца, одновременно производя его очистку без использования химических реагентов. Разработка данных дробилок относится к передовым достижениям в области сильноточной импульсной техники используемым в промышленных технологиях.
Дробление данным методом осуществляется до размера кварцевой крупки 100-300 мкм, дальнейшее дробление до размера 5-30 мкм осуществляется в высокоскоростных струйных паровых дробилках, позволяющих получить высокочистую кварцевую крупку чистотой 99,998%, для достижения чистоты 99,999% и выше необходимо использовать дополнительную химическую обработку сырья.
Сфероидизация кварцевой крупки осуществляется в комбинированных свч-дуговых плазматронах собственной разработки мощностью 250кВт, обеспечивающих высокую чистоту продукта и степень сфероидизации. Данная технология включает последние достижения в области плазматронной техники и относится к передовым высокотехнологичным методам плазменной обработки материалов.
Методы исследования кварцевого сырья и технологии обогащения легли в основу практических курсов для студентов ИрГТУ обучающихся по направлению «Нанотехнологии». Практические занятия проводятся по методам электронной микроскопии, методам рентгеноструктурного и рентгеноспектрального анализа.
Силами студентов запущена в эксплуатацию установка для вакуумного термического напыления образцов необходимых при элетронномикроскопических исследованиях.