субсидии
исполнитель
НИОКТР
Цель
Разработка и внедрение в промышленное производство новейшей технологии обработки кристаллических и керамических материалов, обеспечение на срок не менее десяти лет сохранения условий для создания в России конкурентноспособного производства энергосберегающих осветительных приборов (светодиодов с наногетерными структурами на сапфире), информационных панелей и отдельных видов электронно-вычислительной и управляющей техники, с помощью использования в интегральной технологии подложек с дефектным слоем в 5-7 раз меньшим по сравнению с мировыми аналогами.
Уникальность
Сапфировые подложки являются основным элементом конструкции светодиодов, являющиеся на сегодня наиболее перспективными приборами для решения задач по такому основному направлению развития, науки, технологий и техники в Российской Федерации как энергетика и энергосбережение, по приоритетному направлению модернизации и технологического развития экономики России энергоэффективность.
Производство электронной компонентной базы, используемой в современных энергосберегающих, управляющих и информационных системах, требует создания высокоэффективных инновационных технологий, инструмента и оборудования для обработки кристаллических и керамических материалов.
Используемые шлифованные подложки для светодиодов и интегральных микросхем со структурами "кремний на сапфире", а также подложки для сверхярких светоизлучающих диодов, мощных СВЧ транзисторов - наногетерные структуры на сапфировых подложках (далее - Изделия), имеют дефектный слой рабочей поверхности, существенно снижающий технологические и эксплуатационные характеристики конечной продукции электроники.
Создание технологического процесса и соответствующего инструмента, позволяющего уменьшить дефектный слой Изделия в 5-7 раз, позволяет производить полупроводниковые ИК-фотоприемники и фотоприемные устройства на основе Si, Ge, InSb и CdHgTe с повышенными эксплуатационными характеристиками, конкурентноспособными на мировом рынке, предназначенные для систем тепловидения, теплопеленгации, систем автоматики военного и гражданского применения, при одновременном снижении трудоёмкости на 20%, материалоёмкости на 25% и энергозатрат на 15%.
В результате выполнения проекта создан уникальный инновационный алмазный таблетированный инструмент на пористой органической связке, оборудование для работы с данным инструментом, технология обработки, который обеспечивает повышение производительности работы, уменьшение глубины нарушенного слоя на поверхности материала, снижение времени обработки, уменьшение количества твердых и жидких отходов, повышение качественных параметров обрабатываемых деталей. На основе разработанного инструмента создана технологическая линия обработки сапфировых пластин, а также материалов группы А3В5, позволяющая изготавливать пластины с качеством выше уровня мировых аналогов. Инновационное оборудование резки сапфировых пластин и материалов группы А3В5 методом лазерного управляемого термораскалывания позволило увеличить производительность операций резки, уменьшить количество отходов, увеличить процент полезного использования площади подложки, увеличить процент выхода годных элементов.
Выпускаемые фотоприемники являются ключевым элементом тепловизионных и теплопеленгационных устройств. Объем продаж в 2009 году составил 760 922 тысячи рублей.