№ соглашения 13.G25.31.0046
Проект
Организация серийного производства лазерных микроскопов МИМ нанометрового разрешения с предметными столами нанометровой точности для исследования субмикронных структур в области материаловедения.
Получатель
субсидии
АО «Производственное объединение «Уральский оптико-механический завод» имени Э.С. Яламова»
Свердловская область
Головной
исполнитель
НИОКТР
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
г. Москва
Начало проекта
2010
Стадия проекта
Завершен
Отрасль
Электронная промышленность и микроэлектроника