№ соглашения 13.G25.31.0046
Проект
Организация серийного производства лазерных микроскопов МИМ нанометрового разрешения с предметными столами нанометровой точности для исследования субмикронных структур в области материаловедения.
Получатель
субсидии
АО «Производственное объединение «Уральский оптико-механический завод» имени Э.С. Яламова»
Свердловская область
Головной
исполнитель
НИОКТР
Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
г. Москва
Начало проекта
2010
Стадия проекта
Завершен
Отрасль
Электронная промышленность и микроэлектроника
О проекте

Цель

Разработка технологии и организация производства лазерных микроскопов МИМ нанометрового разрешения с предметными столами нанометровой точности для исследования субмикронных структур в области материаловедения и технологического контроля в промышленности.

Уникальность

Внедрение разрабатываемого оборудования в промышленность увеличит точность и надежность выходного контроля качества высокотехнологичной продукции. Применение разрабатываемого оборудования для научных (прикладных и фундаментальных) исследований позволит получить новую информацию о материалах, упростит и снизит затраты на эксперимент.

Таким образом, микроскопы МИМ обладают сочетанием высокого быстродействия и нанометрового разрешения и являются перспективными приборами для применения в составе координатно-измерительного и метрологического оборудования.

Результаты на 31.12.2021

Производство новой продукции организовано на существующих площадях АО «Производственное объединение «Уральский оптико-механический завод» имени Э.С. Яламова» (г. Екатеринбург), входящего в состав государственной корпорации «Ростехнологии».

Сбыт продукции производится на внешнем и внутреннем рынках.