№ соглашения 13.G36.31.0005
Проект
Разработка и организация серийного выпуска электронных твердотельных компонентов на гетероструктурах GaN.
Получатель
субсидии
АО «Государственный завод «Пульсар»
г. Москва
Головной
исполнитель
НИОКТР
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
г. Москва
Начало проекта
2010
Стадия проекта
Завершен
Отрасль
Электронная промышленность и микроэлектроника
О проекте

Цель

Разработка и организация серийного выпуска электронных твердотельных компонентов на гетероструктурах GaN.

Уникальность

По совокупности характеристик создаваемые светодиоды на основе нитридгаллиевых гетероструктур и гетероструктурные СВЧ транзисторы C- и Х диапазонов соответствуют продукции ведущих мировых производителей и производятся в России впервые. В разработанных транзисторах коллапс тока отсутствует, характеристики отличаются высокой стабильностью, получены высокая подвижность носителей и малое сопротивление омических контактов, что обеспечивает высокие рабочие частоты (Х- диапазон).

Для получения светодиодного кристалла с высокими рабочими характеристиками: коэффициентом вывода излучения, тепловым сопротивлением, напряжением, используются технологические операции не имеющие широкого применения и впервые использованные при производстве светодиодов.

Для создания вертикальных структур впервые использована технология отделения сапфировой подложки от GaN-гетероструктур.

С целью увеличения вывода излучения из структуры впервые использована технология создания отражающего контакта с высоким коэффициентом отражения и создания микрорельефа на поверхности нитрида галлия.

Результаты на 31.12.2021

Проведена оптимизация ключевых технологических процессов изготовления полупроводниковых структур и их монтажа в корпус, внедрены новые методы обработки изделий, намечены перспективные направления дальнейшего взаимодействия для оптимизации текущей технологии изготовления изделий и их конструктивных решений.

Специалистами АО «ГЗ «Пульсар» проводятся ознакомительные лекции для студентов НИЯУ МИФИ с демонстрацией технологических процессов на производственных участках предприятия.

В целях развития и проведения фундаментальных и прикладных НИР в области исследований перспективных широкозонных полупроводниковых материалов и приборов на их основе АО «ГЗ «Пульсар» с привлечением НИЯУ МИФИ проводятся НИР «Исследование процессов и явлений наноструктурирования НЕМТs с использованием лазерного генератора изображений» и НИР « Исследование формирования гетероструктур на основе нитрита галлия на подложках кремния для синергии нитридной и кремневой электроники».

По результатам стажировки молодые специалисты АО «ГЗ «Пульсар» проходят обучение в аспирантуре НИЯУ МИФИ.