субсидии
исполнитель
НИОКТР
Цель
Организация высокотехнологичного производства продукции микроэлектроники на КНД структурах и микросистемной техники с элементами монолитных интегральных схем для экстремальных условий эксплуатации
Уникальность
Техническую основу проекта составило электронное перевооружение и экологическое обеспечение научно-производственной и экспериментальной баз (автоматизированных рабочих мест, экспериментальных стендов и производственных участков, специального оборудования) для обоснования физических принципов, проектно-конструкторских решений, анализа и обоснования безопасности реализации и повышения эксплуатационной эффективности основных научно-технологических инновационных решений атомно-ядерного комплекса Российской Федерации.
Инновационную основу проекта составило развитие отечественной ЭКБ перспективных классов (сверхбольшие интегральные схемы, приборы и изделия твердотельной СВЧ-электроники на структурах группы «кремний на диэлектрике», функциональные узлы и устройства микросистемной техники, монолитные интегральные схемы СВЧ на наногетероструктурах), а также эффективные методы и программно-технические средства их проектирования, производства и испытаний по заданным требованиям экстремальной эксплуатации.
Проведена разработка технологии изготовления изделий на магнито-чувствительных резистивных элементах (МРЧЭ). С использованием данной технологии разработаны датчики положения ротора двигателя.
На основе результатов проекта выиграны конкурсы на проведение ряда НИОКР по разработке радиационно-стойкой элементной базы и разработке изделий микросистемной техники.